选用真空泵时,需要注意下列事项:
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmhg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmhg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmhg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmhg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmhg为好。
选用真空泵时,需要注意下列事项:
1、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,化工业水环真空泵,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,罗茨真空泵,也能达到清洁真空要求。
2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,真空泵厂家,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
3、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
5、真空泵的价格、运转及维修费用。
对真空泵正确的保养可减少真空泵维修的难度,应适当的对真空泵进行保养才能---的使用真空泵,以下对真空泵保养问题提出几点建议:
1、如果真空泵有吸入杂质、粉尘、水份、化学物质等潜在危险,应该在真空泵进气口位置加装精密过滤器,如果杂质、粉尘、水份量过大,必须加装储蓄罐进行过滤,以防止粉尘以及水份化学物质等杂质进入真空泵
2、如果真空泵需24小时运转,必须每半年对真空泵进行一次保养维护
3、真空泵的正常运转中,应保持泵内真空泵油不低于油标线,应在油镜2/3处,加油时,合肥真空泵,严禁与不同牌号、型号真空泵油混合使用
4、应定期更换真空泵油,一般3~6个月进行一次更换,如发现泵油乳化、碳化等情况,还应及时更换真空泵---油。
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